壓力變送器根據(jù)感壓膜片的不同分為電容式、擴(kuò)散硅式、單晶硅式和陶瓷式，本文主要討論電容式和擴(kuò)散硅式。

一、電容式壓力變送器

原理：電容式壓力變送器有一個可變電容的傳感組件， 該傳感器是一個封閉的組件， 過程壓力、差壓通過隔離膜片和灌充硅油傳到傳感膜片引起位移，傳感膜片和兩電容極板之間的電容差由電子部件轉(zhuǎn)換成4-20ma電流信號。

簡單的說，壓力引起電容的變化。

其優(yōu)點為：可以做到極低壓力；抗過載能力強；精度高。缺點為：高壓測量缺乏優(yōu)勢；傳感器封裝工藝要求高。

二、擴(kuò)散硅式壓力變送器

擴(kuò)散硅式壓力變送器原理：被測介質(zhì)的壓力直接作用于傳感器的擴(kuò)散硅膜片上，使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微小位移。在正常狀態(tài)下，膜片大位移不大于0.025mm，電子線路檢測這一位移量后，即把這一位移量轉(zhuǎn)化成4-20ma信號。

簡單的說，壓力引起電阻的變化。

超壓時膜片直接貼到堅固的擴(kuò)散硅上，由于膜片和基體的間隙只有0.1mm，因此過壓時膜片的大位移也只有0.1mm，所以從結(jié)構(gòu)上保證了膜片不會產(chǎn)生過大的變形，該傳感器具有很好的穩(wěn)定性和高精度。

其優(yōu)點是：穩(wěn)定性高，每年優(yōu)于0.1%FS；溫度偏移小，由于取消了測量元件中的液體，因此傳感器能夠獲得很高的精度；價格便宜。缺點是：低于0°C或高于85°C難以正常使用；不能承受動態(tài)壓力；膜片易損壞；不適用20MPa以上的壓力。